Продукция Raith

Фирма Raith выпускает ряд систем электронно- и ионнолучевой литографии для научных исследований и опытно-конструкторских разработок, ведущихся как в учебных учреждениях, так и на промышленных предприятиях. Известный продукт фирмы – высокоточные столики для навигации по полупроводниковым пластинам.

Компания была основана в 1980 году в Германии. Появившись на рынке с электронно-оптическими разработками, она постепенно заняла лидирующее положение в области электронно-лучевой литографии и навигации по полупроводниковым пластинам. Её стиль работы – тесное взаимодействие с заказчиками при создании новых, перспективных продуктов.

Продуктовая линейка Raith включает системы от электронно- и ионнолучевых литографов до литографических приставок к сканирующим микроскопам, оснащенных ионным пучком. Для нужд полупроводниковой промышленности Raith предлагает навигационные модули с программным обеспечением (CAD) для анализа отказов и физического контроля микросхем.

Нанотехнологии требуют универсальных и гибких инструментов.
Современное исполнение, многопользовательское управление, надежность, легкость в управлении – вот те характеристики и требования, которые выходят на первый план сегодня.

Электронно-лучевая литография

Raith PIONEER - новая, компактная система электронно-лучевой литографии с термоэмиссионным катодом типа Шоттки.
Система позволяет получать элементы с размерами 20 нм и менее, и обладает прекрасным разрешением 1,1 нм в режиме электронной микроскопии.
Высококачественные компоненты расширяют область применения системы PIONEER: лазерный интерферометрический столик обеспечивает поворот и наклон держателя образца целиком, что даёт системе возможность сохранить функцию получения изображений как в обычном СЭМ.

RAITH150-TWO – это электронно-лучевой литограф с камерой образца, рассчитанной на размещение пластин и шаблонов (до 8 дюймов), который предназначен для центров коллективного пользования и опытно конструкторских отделов предприятий, работающих в области нанотехнологий.

Серия e_LINE имеет такую же разрешающую способность, как и RAITH150-TWO, работает с образцами до 4 дюймов и идеально подходит для научных лабораторий. Осаждение из газовой фазы, индуцированное электронным пучком – методика, которой оснащен eLine для решения задач в новых областях науки. Удобное в использовании программное обеспечение со встроенным редактором файлов формата GDSII для формирования рисунка дополняется курсом интенсивного обучения и все это входит в комплект поставки этих специализированных электронно-лучевых систем.

Литографические приставки к сканирующим микроскопам

ELPHY Plus – усовершенствованная литографическая система.

Программное обеспечение CAD navigation

ESCOSY Plus – навигационное решение, предназначенное для всех аналитических приборов, и включает такие приложения, как просмотр дефектов, навигация по топологии микросхем, карта обзора дефектных ячеек памяти и измерение расстояний. Оснащение сканирующего электронного микроскопа специальными функциями, как например воссоздание архитектуры чипа или высокоточная метрология – наглядный пример компетенции Raith в области высоких технологий.